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ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年，并于1994年通过开发世界上第一台紧凑型、高重复率、短脉冲准分子激光器在紫外激光技术方面取得了突破。ATL通过几代产品完善了这一革命性概念，如今，ATLEX产品系列以其获得专利的预电离和放电技术引领世界。ATL继续开发紧凑型短脉冲准分子激光器，并保持该领域的技术领先地位。
产品系列示例：
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
产品特点：
延长动态和静态气体寿命（几个月）
风冷/可选液冷
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
便于气体处理的集成4阀系统
能量稳定模式
动态风扇速度控制
德国ATL LASER 型号：ATLEX-500-L-ArF
气体介质：ArF
波长：193nm
高压开关技术：固态开关
最大脉冲能量：10mJ
最大平均功率：4.0W
最大重复率：500Hz
脉冲持续时间：5–8ns
尺寸：6x4mm
光束发散：2x1mrad
能量稳定性：<2%
尺寸：600x415x567mm
重量：70kg
冷却：空气冷却
电力要求：230VAC/10A/1Phase/50-60Hz
德国ATL LASER激光器ATLEX-500-L-ArF技术指导